據(jù)中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院相關(guān)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人介紹，光刻機(jī)是LCD面板制造投資份額最大的關(guān)鍵設(shè)備 設(shè)備及其關(guān)鍵技術(shù)一直受到國外公司制約該行業(yè)發(fā)展的限制。 為了打破國外光刻設(shè)備在LCD面板行業(yè)的壟斷地位，響應(yīng)電子信息領(lǐng)域?qū)ο冗M(jìn)技術(shù)，節(jié)能環(huán)保的低成本曝光設(shè)備的需求，中國科學(xué)院重慶研究所 美國科學(xué)部基于UVLED光源，突破LED/LD光學(xué)擴(kuò)展量解決方案和束角變換理論，LED多自由形式精密配光技術(shù)，紫外波段自由曲面無機(jī)光學(xué)元件批量制造技術(shù)進(jìn)行了新型曝光模塊的研究， 光電系統(tǒng)集成等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，成功開發(fā)了“ 2”用于微電子光刻-12英寸UVLED平行光曝光模塊和“ 5KW，8KW，10KW汞燈替換UVLED光源模組”系列，用于PCB，LCD面板 與觸摸屏等光刻設(shè)備相比，產(chǎn)品強(qiáng)度，均勻性等關(guān)鍵指標(biāo)均優(yōu)于國外原廠配置，并能滿足生產(chǎn)2
um級(jí)生產(chǎn)線，產(chǎn)品技術(shù)已達(dá)到國際領(lǐng)先水平。 目前，研發(fā)團(tuán)隊(duì)已與重慶方正，深南電路等大型企業(yè)達(dá)成合作協(xié)議，與企業(yè)合作完成光刻設(shè)備的升級(jí)改造。 市場上此類光刻設(shè)備5萬余臺(tái)，產(chǎn)值將超過50億元。

據(jù)報(bào)道，中國已加入《水a(chǎn)m公約》，并禁止在2020年前進(jìn)出口含汞商品?！兜统杀竟饪坦に嚭驮O(shè)備的開發(fā)與應(yīng)用》UVLED光源模組的研究與開發(fā)UVLED光源模組。
“液晶面板”項(xiàng)目是大勢所趨。 以高效，節(jié)能，環(huán)保UVLED陣列作為曝光光源，通過自由曲面的精確配光和復(fù)眼均勻光方案，實(shí)現(xiàn)了大面積高強(qiáng)度均勻曝光，并且現(xiàn)有 光刻機(jī)水銀燈光源升級(jí)需求。 單以電費(fèi)計(jì)算，每UVLED設(shè)備人每年可為公司節(jié)省使用成本約8萬元。 如果將目前市場上的5萬只汞燈雕刻設(shè)備全部升級(jí)，每年可節(jié)省電費(fèi)40億元。 上述產(chǎn)品已申報(bào)15項(xiàng)專利，其中2項(xiàng)已獲授權(quán)。

UVLED光源固化技術(shù)是綠色產(chǎn)業(yè)的一項(xiàng)新技術(shù)。 它曾經(jīng)被北美輻射固化委員會(huì)評(píng)為具有“ 5E”特性的工業(yè)技術(shù)； 所謂5E是指Energy saving，節(jié)能，UV產(chǎn)品在室溫下快速固化，其能耗一般僅為熱固化的1/10?1/5。
Environmentalfriendly環(huán)保的UV固化材料不包含或僅包含少量溶劑，用于UV固化的能量為電能，不產(chǎn)生燃料或氣體，不產(chǎn)生CO2，因此UV固化被稱為“綠色技術(shù)”
“; 高效，高效性UV固化可在幾秒鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)完全固化，并具有較高的生產(chǎn)效率； 經(jīng)濟(jì)，經(jīng)濟(jì)，緊湊的紫外線固化設(shè)備和流水線生產(chǎn)，加工速度快，從而節(jié)省空間，勞動(dòng)生產(chǎn)率高，紫外線固化工藝確保薄膜層更薄，并具有優(yōu)異的性能降低了消耗 原材料，有利于降低經(jīng)濟(jì)成本；
UV產(chǎn)品具有廣泛的適應(yīng)性，可適應(yīng)各種基材，例如紙張，木材，塑料，金屬，皮革，石材，玻璃，陶瓷以及幾乎所有的軟硬材料

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